X-射线荧光光谱仪是一种能同时测定多种元素的快速仪器。当样品受到X射线照射时，每个元素原子的内层(K,L或M层)电子被激发出逐出原子，引起电子跃迁，并发出该元素特征的X射线荧光。每种元素都有其特定波长的X射线特征。利用X射线荧光光谱仪(EDXRF)荧光X射线具有不同的能量特性，探测器通过自身的能量分辨能力来分辨所探测的X射线。

QQ截图20191207192054.png从光源激发的样本产生的X射线直接进入探测器，探测器将光信号转换成电信号，由主放大器输出脉冲传输到ADC(ADC)，在此，模拟的脉冲振幅转换成数字信号，产生的数字作为多道分析仪(MCA)连接的地址，然后根据这些地址检测不同的脉冲即X射线的能量，并记录相应的脉冲数量。