仪器介绍

常州X射线荧光镀层测厚仪是一款应用广泛的能量色散型X射线荧光光谱仪。该仪器配备了大铍窗超薄窗口的高分辨率SDD探测器,其分辨率达到139eV,处于国际水平。产品采用了上照式设计,配备多重防辐射保护装置和X射线发生器,确保辐射剂量符合国际标准。样品观察系统则使用CCD摄像头、数字多道分析器、激光定位技术,并通过自主研发的测厚分析软件进行操作,各项技术指标均符合相关要求

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技术指标

仪器名称:常州X射线荧光镀层厚度测量仪

型号:厚款800A

外形尺寸:576毫米(宽)×495毫米(深)×545毫米(高)

样品室的尺寸为:500毫米(宽)× 350毫米(深)× 140毫米(高)。

常州X射线荧光镀层测厚仪的样品台尺寸为230mm(宽)×210mm(深)。

Z轴升降平台的升降范围为0至140毫米。

平台的移动测量范围为:宽度50毫米、深度500毫米、高度135毫米。

分析方法:兼容FP和EC法的能量色散X荧光分析技术。

XRF镀层测厚仪的测量范围包括原子序数为16(硫)到92(铀)之间的所有元素。

同时检测可以分析24种元素,并支持五层镀层的测量。

检测限:金属镀层分析的可检测厚度为0.005微米。

厚度范围:镀层的分析一般在50μm以下(具体情况因材料而异)。

稳定性:经过多次测量,重复性可达到1%。

检测时间范围:30至60分钟。

探测器及其分辨率:25mm2 Be窗口的SDD探测器,分辨率为140±5 eV。

常州X射线荧光镀层测厚仪的激发源为50KV/1000uA的铝靶X光管以及高压电源。

多道分析技术:DMCA数字多道分析,支持4096道的分析能力。

固定Φ0.2mm的准直器和滤光片,可根据需要选配其他孔径和铝滤光片。

定位:平台电机的重复定位低于0.1微米。

样品观察:配备CCD彩色摄像头,图像放大可达40倍,能够清晰定位微小样品。

平台稳定性:Z轴测试平台使用恒力弹簧来平衡重力,从而实现平台的恒定升降,减轻了Z轴电机的负担,并提高了Z轴的垂直度。

安性双重安全保护装置:包括防撞激光探测器和样品室门的开闭传感器;在待机状态下无辐射,工作时的辐射水平远低于国际安全标准,并配备了软件联动装置。

操作环境的温度和湿度应保持在15℃到30℃之间,湿度不超过70%。

仪器的重量为90公斤。

常州X射线荧光镀层测厚仪的工作电源为交流220V±5V,建议使用交流净化稳压电源。